Surpass系列 干法刻蝕機，特別適合于大口徑、高均勻性和有特殊微納結構的基片刻蝕，***大刻蝕尺寸可達φ2500mm，通過高密度等離子體及離子濃度修正系統(tǒng)，可達到基片有效刻蝕區(qū)域內均勻性較高的技術指標，滿足大口徑基片刻蝕的需求。

     成都超邁光電科技有限公司，為國家高新技術企業(yè)、國家標準擬定單位、創(chuàng)新型中小企業(yè)、省專精特新企業(yè)、新經濟雙百企業(yè)，已通過GB/T與GJB雙體系認證。

       成都超邁光電科技有限公司致力于真空鍍膜、等離子刻蝕、人工晶體材料和特殊裝備的技術提升，具有全系列涂層服務裝備和檢測手段，已申請國家專利60余項，授權專利與軟件著作權50余項，擬定國家標準2項，行業(yè)標準1項，為中國物理學會固體缺陷專家委員單位，全國電熱裝備標準化委員會單位，已形成工業(yè)級、科研級和特殊級三大產品系列，公司在南充高新區(qū)(順慶高新區(qū))建有超邁智能產業(yè)園，一期已完成3.5萬平方米廠房和配套辦公生活設施建設，具備強大的研發(fā)和制造能力。