氧化鈰，拋光粉***

      鈰是鑭系元素的第二個元素，也是地球上第25個***豐富的元素，它幾乎與銅儲量一樣豐富。

      在自然狀態(tài)下，氧化鈰（CeO₂）是***常見、***穩(wěn)定的鈰氧化物。氧化鈰通常呈現(xiàn)為一種立方螢石晶體結構，空間群為Fm3m。Ce的價電子層結構是4f15d16s2，外層電子和內部電子間能量差很小，因此，氧化鈰有三價和四價兩種價態(tài)形式。在外部環(huán)境的影響下，Ce³⁺和Ce⁴⁺可以相互轉化，并伴隨著氧空位的形成和消失，基于這種性質，氧化鈰具有較強的反應活性，氧化鈰磨粒能在工件表面生成易于去除的化學齒，以獲得優(yōu)異的拋光性能。              

總結來說：氧化鈰作為磨料有如下幾方面優(yōu)勢：      

（1）氧化鈰中的四價鈰具有強氧化作用，對拋光物質有較強的化學作用；

（2）氧化鈰的硬度比硅片硬度略小，在拋光過程中既不會對硅片材料造成明顯的機械損傷，又可以得到較為光滑、潔凈的平面；

（3）拋光速度和效率較快，一般拋光速率可提高3～4倍；

（4）氧化鈰的晶形和活性較好，粒度小而均勻，用量少且使用壽命長；

（5）氧化鈰拋光液清潔、無污染，易于處理。          

這些優(yōu)勢讓氧化鈰贏得了“拋光粉***”的美譽。       

在半導體制程中，氧化鈰拋光液主要應用在STI和ILD中，制程越高使用越多，且用于先進封裝的拋光液磨料只能是氧化鈰。氧化鈰價格遠高于氧化硅，固含量遠低于氧化硅，因此市場價值***高。氧化鈰的核心是提純難度大、粒徑影響拋光效果，因此納米級氧化鈰的制備及應用是當前研究熱點之一，未來前景廣闊，市場及成長空間較大。